에스케이엔펄스(주)기업정보

반도체 핵심 소재 부품의
국산화를 선도해 온 대표 기업입니다

국내 반도체 및 LCD용 파인세라믹 업계 1위 기업인 SK엔펄스는 끊임없는 투자와 연구개발로
반도체 핵심 소재 부품의 국산화를 선도해 온 대표 기업입니다.

CMP PAD, Blank mask 등 SKC 반도체 관련 Biz와 후공정 Tester, EFEM 장비 Biz를 통합/확장하여
‘반도체 전체 공정을 아우르는 소부장(소재.부품.장비) Total Solution Provider’로 한발 더 앞서가겠습니다.

현재의 최첨단 공업기술은 반도체 직접회로(LSI)라고 할 수 있으며, 이 최첨단 기술을
뒷받침하고 있는 것이 제조장치입니다. 세라믹은 그 제조장비를 구성하는 소재로서 반
도체 제조장비의 핵심이라 할 수 있습니다. 반도체 관련 산업은 한 국가의 경제를 좌우
할 수 있는 매우 중요한 산업으로서, 반도체 제조와 관련된 기술 또한 슥듭하기가 매우
어려워 다년간의 연구개발과 투자가 없이는 성과를 이룰 수 없는 분야입니다.

특히, 부품ㆍ소재산업은 신기술ㆍ신제품 창출의 원천으로 산업전체의 경쟁력을 좌우하
는 산업입니다. 하지만, 현재 국내 반도체 부품소재산업은 수입유발적인 산업구조를 지
니므로 반도체산업의 국제경쟁력 확보기반을 마련하기 위해서는 반도체 부품소재산업
은 꼭 육성해야하는 산업입니다.

당사는 1984년 창사(개인)이래 FINE CERAMIC 기계가공 기술 개발에 착수하여, 그 우
수성을 한국을 대표하는 삼성전자(반도체), 현대전자(반도체), 아남반도체 등의 반도
체 제조 메카부분에서 인정을 받아, 현재는 국내를 대표하는 \"반도체 제조장치용 세라
믹\"을 공급하는 동시에 이의 부품소재를 개발하는 메카로서 책임을 다하고 있습니다.

사업현황 :
DRAM은 컴퓨터 등의 구동 디바이스로서 이 분야에서는 국내의 삼성반도체 현대전자
산업, 아남반도체가 세계의 반도체 시장을 리드하고 있으며 이러한 최첨단 기업으로부
터 그 기술수준을 인정을 받고 있다는 것은, 세계적으로 그 기술의 우수성이 인정받고
있다고 볼 수 있습니다. 이러한 국내에서의 기술에 대한 자신감으로 해외시장에서도
적극적인 영업활동을 전개하여, 반도체 제조 기업이 제일 많은 미국, 일본, 대만 등에
다수의 고객을 확보하고 있으며, 매년 매출대비 수출비중이 늘어나고 있습니다.

당사는 가공기술과 소재개발에 있어 다음과 같은 경쟁력을 확보함으로써 국내및 해외
에서 뚜렷한 성장을 이룩하였습니다. 초순도 세라믹 소재를 제조, 확보하고 있으며, 초
정밀 가공이 가능합니다. 경제적인 원가로 제조가 가능한 종합적 제조기술을 가지고 있
고, 최첨단 기술 및 세라믹 부품소재 개발에 충분한 자금확보와 기술자의 육성을 최우
선으로 하고 있습니다. 또한, 경영체계가 건전하며, 최첨단 기술을 요구하고 있는 고객
의 요구에 부응하여 바로 적응시킬수 있는 우수한 기술 영업체계를 갖추고 있습니다.

당사는 이러한 기술의 우수성과 신기술 및 세라믹 부품소재 개발 실적을 바탕으로 창사
이래 (98년 제외) 매년 100%이상의 고성장을 이루었으며 앞으로도 한국을 대표하는 신
소재 정밀가공 기반 업체로서 공장설비의 현대화, 세라믹 부품소재 연구개발 분야의 설
비 및 인력확충, 정밀가공의 신기술 개발에 전력투구하여, 세계적인 반도체 제조장치
용 세라믹 종합 메카로서의 지위를 확보하기위해 끊임없이 노력하고 있습니다.

사업전망 :
반도체시장의 침체에 따라 세정을 통한 장비나 부품에 대한 공정효율과 생산수율 증가
에 대한 관심이 높아지고 있으며 정밀세정산업 시장도 30%이상 급성장을 하고 있습니
다. 실리콘카바이드(SiC)는 내열성, 내마모, 내식성이 매우 우수한 소재로 특히 열충격
에 강하고 파티클 발생이 적은 특성을 지니고 있습니다. 최근의 SiC반도체 세계시장은
연평균 45%이상 고성장하고 있고 차세대 고부가가치 핵심소재로 활용가치가 높게 평가
받고 있는 점을 감안한다면 신규시장은 이보다 휠씬 커질 것으로 예측됩니다.

당사는 반도체 저압화학기상증착(LP-CVD)공정에 쓰이는 튜브(Tubes)와 보트(Boats)
를 개발하고 있으며 초고순도반응소결법(Si-SiC)으로 제조해 300mm웨이퍼 열처리가
가능하며 순도가 높고 내열성이 우수한 것이 특징입니다. 현재 국내 확산공정이나 LP-
CVD공정에 이용되는 실리콘카바이드(SiC)제품은 전량 수입되고 있으므로 제품양산
시 신규매출뿐만 아니라 수입대체효과까지 거둘 수 있을 것으로 기대를 모으고 있습니
다.

당사는 파인세라믹스 부품소재업체의 경험을 살려 세정해야할 재질의 특성을 쉽게 파
악할 수 있으며 세정장비,부품의 경우 탈착에서 세정, 검사, 재장착, 공정튜닝까지 모든
과정을 일원화하여 문제발생시 빠른 대처가 가능합니다.세정 차별화를 위해 극저온 상
태에서의 CO2세정과 반도체 생산장비 챔버공정조건과 유사한 RF플라즈마 & RF웨이브
플라즈마 방식을 이용한 세정을 하고 있으며 자동화설비구축으로 인한 공정 단축과 케
미컬 세정방식의 절제 및 드라이 세정의 확대적용으로 타사에 비해 가격경쟁력까지 갖
추고 있습니다.

앞으로 정밀세정분야는 반도체기판(Wafer)세정뿐만 아니라 장비부품 청정도 관리에 이
르기까지 폭넓은 분야에서 외주정밀세정이 이뤄질 것으로 전망됩니다

경영철학 :
1. 솔믹스의 영영정신은 인간존중입니다.
2. 솔믹스는 창의성에 의한 고객가치를 우선시합니다.
3. 솔믹스의 윤리경영은 상대방을 존중하는 마음입니다.

주요거래처 :
• 삼성전자(주) - 기흥 반도체, 천안 LCD
• 하이닉스반도체(주) - 반도체(이천, 청주, 구미)
• 아남반도체(주)
• 삼성전기(주)
• LG필립스LCD.(주)
• 동우 STI(주)
• 미래산업(주)
• Fairchild KOREA Semiconductor(주)
• D.N.S KOREA Co.,Ltd.

연구기관 :
• 한국기계연구원
• 한국과학기술연구원
• 한국화학연구소
• 한국표준연구원 등